硬质膜PVD镀膜机

产品详情

设备简述：TS-LJX（M）系列磁控多弧复合镀膜设备为立式结构多功能镀膜设备。表面改质技术历史悠久，不同时代与产业对膜层需求各异。而真空薄膜作为科技发展的核心技术之一，其 PVD 涂层优势显著，可降低长期成本并提高效率。
刀具涂层旨在延长刀具寿命、提升切削速度与工件质量。PVD 设备涂层方案通过延长刀具使用寿命、提高切削速度和进给率提升生产效率，实现降本。相比其他涂层，PVD 涂层更环保，纳米级硬质薄膜可显著降本增效。真空镀膜技术优化物件表面性能，赋予工件减摩、耐磨、耐腐蚀等特性，提升产品附加值与使用寿命，在多领域发挥关键作用。

设备应用：设备可以用于镀制TiN、ZrN、CrN、TiC、TiCN、TiAlN、TiCrCN、DLC、AF等不同的膜层。设备可用于工具行业：切削刀具、钻孔、铣削、车削、螺纹加工、铰削、拉削，齿轮加工、冲压模具，注塑模具、拉伸环、一体式铸铁和铸钢模具、高尔夫球杆球头、手术器械，牙科器械和工具，电动医疗器械，骨钻和铰刀等表面等产品上镀膜。

设备特点：设备配置电弧源和磁控溅射阴极，电弧源可以根据不同工艺需求选择小平面弧、磁过滤弧或者大平面弧和柱弧等。溅射阴极可以选择平面阴极或者旋转阴极，还可以选择非平衡磁场阴极。配置直流、直流脉冲、双极脉冲、AC交流或者Hipims高功率脉冲电源等，可以实现各种功能薄膜的制备。设备还可以配置脉冲偏压、离子源前处理装置、热灯丝、空心阴极枪或加热烘烤装置等，能够实现更高要求的镀膜工艺。加装蒸发镀膜装置还可以实现AF/AS防指纹镀膜。

电弧技术的涂层是切削和成型工具应用中最常见的涂层工艺类型，并具有以下特点：
1.电弧蒸发发生在腔室中。
2.对于电弧，主要使用金属等导电材料作为靶材。
3.在腔室中实现了高电离率。
4.用电弧涂层技术沉积的涂层具有优异的结合力。
5.高的涂层沉积效率。
6.电弧工艺产生的液滴增加了表面粗糙度(Sa~0.2µm; Sz ~ 2.1µm